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EUV也采用的是德国镜片。
从光刻机完整的产业链来看，可拆分为两个部分。
一是光刻机的核心组件，包括光源、镜头、双工作台、浸没�
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EUV也采用的是德国镜片。
从光刻机完整的产业链来看，可拆分为两个部分。
一是光刻机的核心组件，包括光源、镜头、双工作台、浸没�
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